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化學浸蝕是利用化學試劑的溶液，借助于化學或電化學作用顯示金屬的組織。

純金屬及單相合金的浸蝕是一個化學溶解的過程，磨面表層的原子被溶入浸蝕劑，在溶解過程中由于晶粒與晶粒間溶解度的不同，組織就被顯示出來。

兩相合金的浸蝕與單相合金的浸蝕原理不同，它主要是電化學腐蝕過程。合金中的兩個相具有不同的電位，當磨面浸入浸蝕劑中便形成許多微小的局部電池，具有較高負電位的一相成為局部電池的陽極，被很快溶入浸蝕劑，因而該相逐漸呈現(xiàn)凹溝。具有較高正電位的另一相成為陰極，在正常電化學作用下不受浸蝕，保持原有的光滑平面。

多相合金的浸蝕也是一個電化學溶解過程。一般電化學作用對多相合金的浸蝕，往往是負電位較高的各相都產(chǎn)生溶解作用，只有正電位較高的一相未被浸蝕，因此一般化學浸蝕不能鑒別多相組織，所以要用多種浸蝕劑進行浸蝕。

磨面浸蝕前須沖洗干凈，去除污垢，浸蝕的方法有浸入法和揩擦法。

浸入法是將試樣用夾子夾住，浸入盛有浸蝕劑的器皿中，使磨面朝上，并使試樣全部浸入。在浸蝕過程中應搖動浸蝕劑，使磨面受蝕更均勻。整個浸蝕過程如下：光亮的磨面經(jīng)浸蝕逐漸失去光澤，變成銀白色或淡黃色，最后成為灰黑色。先宜浸蝕較淺，在顯微鏡上觀察浸蝕的程度，如果組織尚未顯露，可不經(jīng)拋光再進行浸蝕。

揩擦法是將試樣磨面朝上平放在工作臺上，以蘸有浸蝕劑的棉花在磨面上輕輕揩擦。此法浸蝕后磨面易產(chǎn)生浸蝕不均勻，它適合大型工件和大試樣的金相檢查。經(jīng)浸蝕適度的試樣應迅速用清水徹底沖洗，然后浸入酒精中或用酒精噴射試樣磨面，再用熱風吹干。噴酒精的目的是使磨面加快干燥，吹風時試樣應傾斜，防止表面積水而成水漬。浸蝕后的試樣磨面應保持清潔，保護磨面不受損壞。浸蝕后的試樣如果不要求及時觀察或需保存，應立即放入干燥器內(nèi)。

電解浸蝕的工作原理基本上與電解拋光相同。在電解拋光開始試樣產(chǎn)生“浸蝕”現(xiàn)象，這一階段正好是電解浸蝕的工作范圍。由于各相間與晶粒間的析出電位不一致，在微弱電流的作用下各相的浸蝕深淺不同，因而能顯示各相的組織。

大型機件或構(gòu)件，如大型齒輪、軸類、管道進行組織無損檢驗時，可直接在工件上選定檢驗點，進行磨光→拋光→浸蝕等過程。

選擇粒度適宜的小砂輪，插入電動手磨機上并固緊。開啟手磨機將工件上欲檢測部位磨平；然后在手磨機磨頭上貼上砂紙貼片，在被檢測部位細磨，并由粗到細更換幾種不同粒度的貼片，直到細磨完成；最后在磨頭上貼上拋光布貼片，并加研磨膏拋光直至被檢測部位光亮為止。觀察組織時，用棉花蘸少許化學浸蝕劑在被檢測部位輕擦拭，浸蝕完畢用酒精沖淋并用吹風機吹干。

觀察組織時可用便攜式金相顯微鏡，對于無法用顯微鏡觀察的部位，制樣后采用覆膜的方法將需觀察處用薄膜復制出來，帶到實驗室觀察。如需攝影再在顯微鏡上裝上攝影儀或攝影照相機。